ZYGO 大口径激光干涉仪丨大口径产品的检测神器

来源:炬科君 发布时间:2020-03-02 00:00:00 浏览量:1231

大尺寸的光学元件相对常规产品,其加工难度更大,检测更麻烦也相对不够准确。作为光学系统最核心的部分,炬科光学多年来一直在优化加工设备和工艺,总结了针对不同形状曲率的光学元件的多种方法,以提升检测精度为目的。目前炬科光学的光学透镜加工生产线,配备了2台ZYGO干涉仪和1台VEECO干涉仪,用于准确测量光学透镜的曲率半径和面形。


目前我们的检测直径范围可以达到200mm,曲率半径范围在±1000mm。我们始终致力于提供更可靠品质的光学元件,后续会计划配置更大口径激光干涉仪让检测的精度更加准确。


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大口径激光干涉仪,通常是指口径在300mm(12英寸)及以上的激光干涉仪,大多数是卧式配置,也有用于特殊应用的立式配置。


大口径激光干涉仪,自然主要用于“大口径光学元件”;包括表面面形,透射波前,材料光学均匀性等参数的测试。广泛应用于空间光学,强激光,同步辐射,光刻物镜制造等等核心项目。

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ZYGO在大口径干涉仪领域的特殊优势在于:




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ZYGO大口径干涉仪双通道设计


ZYGO卧式大口径激光干涉仪,采用独特设计,可以分别在两个不同口径的通道上测量。包括干涉仪主机的100mm(4英寸)通道,及扩束后的大口径通道。(300mm,450mm,600mm,800mm可选)


根据样品的口径和尺寸大小;大口径样品在扩束通道测试,小口径样品可以在100mm主机通道测试,具有更好的适用性。使用主机通道测试小样品,提高了小口径样品测试的光学分辨能力。


ZYGO大口径干涉仪系统组件包括:



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ZYGO大口径干涉仪技术特点:




立式大口径干涉仪:



除了常见的卧式配置,ZYGO设计制造了立式配置的大口径激光干涉仪,满足特殊应用的需要。


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300mm(12英寸)立式球面激光干涉仪


主要应用于半导体,光刻物镜项目,超高精度球面,非球面,平面光学器件面形及曲率半径测试。


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立式大口径拼接激光干涉仪


用于立式检测大口径,超大口径平面样品表面形貌。借助拼接技术,它可以测试超过1m口径的平面样品。


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ZYGO 300mm立式激光干涉仪


300mm(12英寸)立式激光干涉仪是ZYGO公司标准产品,用于立式姿态下,高效测试大口径平面样品表面面形。



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