大尺寸的光学元件相对常规产品，其加工难度更大，检测更麻烦也相对不够准确。作为光学系统最核心的部分，炬科光学多年来一直在优化加工设备和工艺，总结了针对不同形状曲率的光学元件的多种方法，以提升检测精度为目的。目前炬科光学的光学透镜加工生产线，配备了2台ZYGO干涉仪和1台VEECO干涉仪，用于准确测量光学透镜的曲率半径和面形。

目前我们的检测直径范围可以达到200mm，曲率半径范围在±1000mm。我们始终致力于提供更可靠品质的光学元件，后续会计划配置更大口径激光干涉仪让检测的精度更加准确。

大口径激光干涉仪，通常是指口径在300mm（12英寸）及以上的激光干涉仪，大多数是卧式配置，也有用于特殊应用的立式配置。

大口径激光干涉仪，自然主要用于“大口径光学元件”；包括表面面形，透射波前，材料光学均匀性等参数的测试。广泛应用于空间光学，强激光，同步辐射，光刻物镜制造等等核心项目。

ZYGO在大口径干涉仪领域的特殊优势在于：

• ZYGO对于制造研发菲索式激光干涉仪，具有近50年丰富经验；产品和技术得到广泛认可。

• 光学加工也是ZYGO关键能力及核心业务之一。ZYGO大口径干涉仪系统中高精度标准镜，大口径扩束系统等等光学器件，全部自己设计和制造，确保了质量与交期，提高了性价比。

• ZYGO长期深度参与以上提到的强激光NIF，空间光学NASA，光刻物镜等等国际核心项目，深刻理解这些关键应用的技术需求。

• ZYGO大陆区域技术支持团队，有超过20年安装，调试，维护大口径激光干涉仪的经验。我们可以基于本地资源，安装，调试，维修包括800mm（32英寸）干涉仪，确保您的系统和相关项目能稳定高效地运行。

ZYGO大口径干涉仪双通道设计

ZYGO卧式大口径激光干涉仪，采用独特设计，可以分别在两个不同口径的通道上测量。包括干涉仪主机的100mm（4英寸）通道，及扩束后的大口径通道。(300mm，450mm，600mm，800mm可选)

根据样品的口径和尺寸大小；大口径样品在扩束通道测试，小口径样品可以在100mm主机通道测试，具有更好的适用性。使用主机通道测试小样品，提高了小口径样品测试的光学分辨能力。

ZYGO大口径干涉仪系统组件包括：

• 干涉仪主机 (Verifire™系列最高可选3.4KHDX或Dynafiz®)

• MUX Cube 光路转换器

• 扩束器(300mm，450mm，600mm，800mm可选)

• 大口径机械移相器，适用于300mm（12英寸）和450mm（18英寸）系统；600mm（24英寸）和800mm（32英寸）使用ZYGO波长相位调制技术。

• 大口径透射标准镜，反射参考镜，大口径样品夹具及调整架。

ZYGO大口径干涉仪技术特点：

• 大口径标准镜的绝对标定技术  用于标定大口径平面标准镜的绝对面形，大幅提高系统面形测试的精度。

• 波长调制技术。ZYGO波长调制技术有了新的升级，可以和ZYGO QPSI™技术整合，有效减少环境振动对波长调制测试的影响。ZYGO新的波长调制技术对于测试“薄平行表面”的能力得到升级，最薄可以测试1mm光学厚度的前后平行表面样品。

• ZYGO 推出了特有的基于ITF的自动对焦技术，对于关注PSD中频段测试的应用至关重要。

• Ring Of Fire 环纹抑制功能，有效抑制异物，鬼像造成的环纹。

立式大口径干涉仪：

除了常见的卧式配置，ZYGO设计制造了立式配置的大口径激光干涉仪，满足特殊应用的需要。

300mm（12英寸）立式球面激光干涉仪

主要应用于半导体，光刻物镜项目，超高精度球面，非球面，平面光学器件面形及曲率半径测试。

立式大口径拼接激光干涉仪

用于立式检测大口径，超大口径平面样品表面形貌。借助拼接技术，它可以测试超过1m口径的平面样品。

ZYGO 300mm立式激光干涉仪

300mm（12英寸）立式激光干涉仪是ZYGO公司标准产品，用于立式姿态下，高效测试大口径平面样品表面面形。